电子零件缺陷分析

扫描电子显微镜(Scanning electron microscope)与光学显微镜(光学显微镜)的倍率(2000倍)相比，SEM的倍率高达80万倍，其可通过更高的倍率来观察样品，易于观察，同时最广泛地用于样品表面的观察。在10 - 100倍的低倍率观察中也可以使用的设备，在高倍率时视界比较窄，但在低倍率时视界变宽，可有效地确认整体对象物，因此通常被要求用低倍率进行观察。SEM是将电子束发射到样品表面，用检测器检测出从样品表面放出的二次电子(Secondary electron)，并将其放大，以同步的方式发射到显示器上，通过显示表面高低的影像加以形象化分析的装置。此时可使用SEM设备内的能量分散X射线光谱分析仪(EDS, Energy dispersive X射线spectroscope)来分析样品的结构成分。