微观分析测试介绍
俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy，AES）
一种表面科学和材料科学的分析技术。通过测定样品表面入射数~数十eV的特性电子束发射的Auger电子，分析元素成分及组成
原子力显微镜/扫描式电容显微镜（Atomic Force Microscopy/Scanning Capacitance Microscopy）
原子力显微镜是利用悬臂梁检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质
ASTAR
利用TEM的晶体方位映射分析法
单面研磨机（Ion Milling）
利用氩离子束加工样品单面的与处理方式
动态二次离子质谱仪（Dynamic Secondary Ion Mass Spectroscopy，D-SMIS）
检测次离子质量，对表面及深度进行微量成分分析法
电子背散射衍射分析（Electron Backcattered Diffraction, EBSD)
一种利用衍射电子束来鉴别样品结晶学方位的技术
飞行时间二次离子质谱仪（Time of Flight SIMS,TOF-SIMS）
利用二次离子、离子组质量到达时间差异的微量成分分析法
纳米二次离子质谱仪（Nano-SMIS）
将一次离子束聚焦到50nm以下，检测二次离子质量的极微量成分分析法
X射线光电子能谱技术（X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS）
将一次离子束聚焦到50nm以下，检测二次离子质量的极微量成分分析法
X射线衍射分析（X-ray Diffraction）
利用X射线在晶体物质中的衍射效应进行物质结构分析的技术
X射线反射率（X-ray Reflectometry，XRR）
利用X射线整体外部反射效果的表面及界面分析法
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