聚焦离子束（FIB-SEM)测试介绍
双束聚焦离子束
（Dual Beam Focused Ion Beam）利用双束聚焦离子束，将细微的部位按照所需形态进行刻蚀后，获得高分辨率图像信息的测试
测试介绍
FIB可利用离子束，对微小部位进行刻蚀，SEM可观察高分辨率的图像。因同时具备FIB和SEM，因此可同时进行刻蚀及观察，有效节省了分析所需时间。此外，分析以原位状态进行，可防止观察部位可能发生的污染。
适用技术
Cross section image analysis, Cross section size analysis
案例展示
Cross section – Imaging, Size analysis
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