扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱测试介绍
扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱
（SEM/EDS）用于放大待观察样品的微小部位，并分析待观察样品的组成部分的分析
测试介绍
扫描电子显微镜（SEM,Scanning electron microscope）与光学显微镜（放大2000左右的倍率）相比，扫描电子显微镜最高可放大80万倍率来观察样品，在观察样品表面中应用最为广泛。作为也可用于10~100左右低倍率观察的仪器，虽在高倍率下视野较窄，但在低倍下视野较宽，有利于识别整个目标物，因此常常会被要求进行低倍率观察。扫描电子显微镜是一种分析装置，利用电子束扫描样品表面时，会激发并放大二次电子（Secondray electron)，并反映样品表面形貌。此时，可利用SEM设备内配备的能量分散X射线光谱分析仪（EDS,Energy dispersive X-ray spectroscope)分析观察样品的组成成分。
适用技术
Surface Analysis, Failure Analysis : Package, Die, PCB, SMT Level , Reverse Engineering, Voltage contrast imaging analysis, Size Measurement, EDS analysis
案例展示
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