透射电子显微镜/能量色散X射线光谱/电子能量损失谱测试介绍
透射电子显微镜/能量色散X射线光谱/电子能量损失谱
（TEM/EDS/EELS)观察样品内部结构，以原子水平成像的分析方法。
测试介绍
透射电子显微镜（TEM）是将加速的电子束照射到厚度小于100nm的样品上，利用透射及衍射的电子获得的影像及衍射图案，分析材料的微观结构和晶体结构。利用配备的能量色散X射线光谱（EDS）及电子能量损失谱（EELS）分析微小部分的成分。
适用技术
半导体元件
LED 元件
电池材料
薄膜、粉末材料
案例展示
HR TEM imaging
Atomic Resolution TEM / STEM-HAADF Image
EDS Mapping
EELS Analysis
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